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HMDS烘箱的价格,HMDS预处理系统的性能

HMDS烘箱的价格,HMDS预处理系统的性能

简要描述:

HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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HMDS真空烘箱技术参数:

电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率:2400W

控温范围:RT+10℃-250℃

温度分辨率:0.1℃

温度波动度:±0.5℃

达到真空度:133Pa

容积:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450

载物托架:2块

时间单位:min

二、HMDS真空烘箱特点:

1、 采用医用级不锈钢316L材质制造,内胆为不锈钢316L;加热器均匀分布在内胆 

    外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观 

    察工作室内物体一目了然。

2、 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

3、 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温 

    精确,可靠。

4、 智能化触摸屏控制系统配套进口PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序, 

    温度,真空度及每一程序时间。

5、 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外 

    漏顾虑。

6、 整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。

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