真空干燥箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥,适合工矿企业、医学校院、科研单位在真空条件下进行干燥热处理等。
HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS与硅片反应机理如图：首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。
气候箱体内腔采用不锈钢，表面光滑不结露，不吸附甲醛，保证检测精度；恒温箱体采用硬制发泡材料，箱门采用硅橡胶密封条，有良好保温性能和密封性能。箱内装有强制空气循环装置（形成循环空气流），以确保箱内温湿度均衡*。
盐雾腐蚀试验箱适和标准：JIS、ASTM、CNS、GB标准参数操作设定。《电子电工产品基本环境试验规程Ka，盐雾试验方法》及GJB150的试验要求。 进气压力双重调节，超温报警并切断加热电源，具备双重保护
