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无尘烤箱

无尘烤箱

简要描述:

无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱无尘等级:Class 100、10; 温度范围:RT+10~300℃;用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤

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无尘烤箱特点

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,优良的温度控制精度。

无尘烤箱应用

用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

技术指标

无尘等级:Class 100、10;     

温度范围:RT+10~300℃;

温度均匀度:±2℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        

温控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   

电源:380v , 50Hz,6KW    

网板:2块(高度可调节)

维护保养

1. 检查通风口是否堵塞,并清理积尘。

2. 风机运转是否正常。

3. 维修工检查电流是否正常。

4. 检查温控器是否准确,如不准确,请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。

5. 检查发热管有无损坏,线路是否老化。

6. 检查延时器是否准确,误差是否允许。

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