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晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱
晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱

晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱一种采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class100的洁净烘箱

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百级无尘烤箱
百级无尘烤箱

百级无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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