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硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱
硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱​是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构。工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断路及超温报警,操作方便,使用安全。充氮烤箱可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。

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充氮烤箱
充氮烤箱

充氮烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、LED、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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