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清洁烤箱,无尘烤箱
清洁烤箱,无尘烤箱

清洁烤箱,无尘烤箱用于IC生产过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤(软烘),脱水烘烤,涂胶后的坚膜烘烤(硬烘);也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等生产及科研部门。

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无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂(PI)烤箱
无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂(PI)烤箱

为了获得良好的聚酰亚胺性能,非常好的温度均匀性,低氧含量和低颗粒数是非常重要的,无尘烤箱,非光敏型聚酰亚胺树脂(PI)烤箱腔内的气体保持相当干净(100级),良好的温度均匀性。通过氮气吹扫可将氧气含量降低至20ppm以下。这保证了非光敏聚酰亚胺的优异工艺结果。

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无尘室烤箱,半导体专用无尘烤箱
无尘室烤箱,半导体专用无尘烤箱

无尘室烤箱,半导体专用无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;HMDS无尘烤箱可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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无尘室干燥箱,试验用百级烤箱
无尘室干燥箱,试验用百级烤箱

无尘室干燥箱,试验用百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤、工装夹具烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱
加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱

加工半导体用烤箱,SECS/GEM无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后固化、坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;可以使用TCP/IP(使用HSMS标准,SEMIE37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定

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无尘烤箱
无尘烤箱

无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱无尘等级:Class100、10;温度范围:RT+10~300℃;用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤

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