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晶圆烘箱,晶圆制程烤箱
晶圆烘箱,晶圆制程烤箱

晶圆烘箱,晶圆制程烤箱烤箱用于晶圆、半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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