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百级无尘烤箱

百级无尘烤箱

简要描述:

百级无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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百级无尘烤箱

无尘烤箱也称无尘工业烤箱、洁净工业烤箱,是一种提供高温净化环境的特殊洁净无尘烘干设备。箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烤箱工作室为不锈钢结构。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

百级无尘烤箱

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

无尘等级:Class 100;     

温度范围:RT+10~200℃;
温度均匀度:±2℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        
温控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W500×D600×H500(mm)         

电源:380v , 50Hz,5KW    

网板:2块(高度可调节)

洁净度100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风速距离。
M计装可编程控制1模式20步骤,zui多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。
简单操作的标准计装
标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。 

每日维护保养

1. 打扫表面及内腔灰尘,保持机器干净、卫生。

2. 检查电流表电流跟正常时是否一样,如有异样,通知维修工检修。

3. 突然停电,要把加热开关关闭,防止来电时自动启动。

4. 检查风机运转是否正常,有无异常声音,如有立即关闭机器并通知维修工检修。

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