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加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱

加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱

简要描述:

加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后固化、坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;可以使用TCP / IP(使用HSMS标准,SEMI E37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定

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加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱简介

       加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后固化、坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

      智能无尘烤箱可以使用TCP / IP(使用HSMS标准,SEMI E37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。

特点

全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
采用水平送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到zui佳温度控制精度。

​智能制造主要指生产线现场的生产过程管理、现场监控和控制等,包括智能工厂生产过程的数据采集及分析,实现生产过程、设备、资源监控的可操作和可视化;要能支持采集不同现场设备数据的要求,支持将生产数据及设备故障信息显示在监控站的屏幕上,实现生产过程的动态监控与管理;实现智能设备、机器人和生产线、用户全流程互联对话,实现人机、机机互联下的高品质、高效、柔性自动化生产等。

技术参数

无尘等级:Class 10/100/1000;     
温度均匀度:±2℃;    
温度波动度:±0.5℃(空载);        
温控精度:±0.1℃;
进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;
排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);       
电源:380v , 50Hz,
网板:2-5层 , 单层载重量可需承重50kg;
洁净度:100、10级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100/10级洁净度。

控制器

  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

一目了然、直观的显示  
搭载了新的控制算法「RSS(升降温・恒温・稳定)」  
程序程式输出功能(最多3点)  
大容量 最多1024段程序  
双模式信号输出  
对应各种状况(程式终止状态、等待判断等)  
综合管理大量的设定值,存储组功能  
程序联合运行功能(控制器间的通信)  
前面板接口专用通信+程序设定工具  

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