无尘烤箱厂家无尘等级：Class 100、10; 温度范围：RT+10～300℃；用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤

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产品详情

无尘烤箱厂家

维护保养

1．检查通风口是否堵塞，并清理积尘。

2．风机运转是否正常。

3．维修工检查电流是否正常。

4．检查温控器是否准确，如不准确，请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。

5．检查发热管有无损坏，线路是否老化。

6．检查延时器是否准确，误差是否允许。

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无尘烤箱厂家应用

用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

技术指标

无尘等级：Class 100、10;

温度范围：RT+10～300℃；

温度均匀度：±2℃;

温度波动度：±0.5℃（空载）

温控精度：±0.1℃;

工作室尺寸：W1600×D1600×H1000（mm）（可定做）

电源：380v , 50Hz，6KW

网板：2块（高度可调节)

无尘等级：Class 100、10; 温度范围：RT+10～300℃；用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

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