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无氧烘箱,光刻胶固化烘箱 工业烘箱

无氧烘箱,光刻胶固化烘箱 工业烘箱

简要描述:

无氧烘箱,光刻胶固化烘箱应用于精密电子元件、PI胶固化烘烤、BCB固化,光刻胶固化、LCP液晶聚合物热处理、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求

无氧烘箱,光刻胶固化烘箱应用工艺

   无氧烤箱应用于精密电子元件、PI胶固化烘烤、BCB固化,光刻胶固化、LCP液晶聚合物热处理、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,模拟线性升降温环境,特别适合集成电路/半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于生产企业、高等院校、科研等场所。

无氧烘箱,光刻胶固化烘箱特点

精度高,可调整;

温度稳定性强,可重复性高;

大容量,可批量生产;

兼容性好,适用于2--12寸晶圆;

智能化,操作方便,一键运行,无需人工值守;

快速降温,具有辅助降温装置,提高生产效率;

无氧烘箱性能:

温度范围:RT+50~450℃;

内箱尺寸:多尺寸定制;

材质:SUS304/316不锈钢;

氧含量:≤ 20ppm;

数据输出:温度记录/氧浓度记录

保护功能:短路保护、漏电保护、超温保护、电机过电流保护、电磁门禁保护

可选功能:

洁净度:class100

真空度:10pa

自动上下料:机械手

工业自动化:MES/GEM

无氧烘箱使用环境

环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;

周围无强烈震动;    

无阳光直接照射或其它热源直接辐射,

周围无强烈电磁场影响;

周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;



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