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晶圆烘箱,晶圆制程烤箱

晶圆烘箱,晶圆制程烤箱

简要描述:

晶圆烘箱,晶圆制程烤箱烤箱用于晶圆、半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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晶圆烘箱,晶圆制程烤箱用途:
  晶圆烘箱,晶圆制程烤箱烤箱用于晶圆、半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点:
在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到高精度温度控制精度。

技术参数:

 无尘等级:Class 100;     

 温度范围:RT+10~200、300℃;
 温度均匀度:±2℃;    

 温度波动度:±0.5℃(空载);        
 温控精度:±0.1℃;

 进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;  

 排风口: φ3”排风管;

 工作室尺寸:W1500×D1000×H1400(mm);可选择      

 电源:380v , 50Hz,15KW;   

 网板:5层;  

 洁净度:100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

控制器:彩色触摸屏;

显示器:3.5英寸TFT彩色LCD显示器;

输出方式:PID控制输出;

运行方式:程序方式、定值方式;

耐高温高效空气过滤器(HEPA)

过滤效率:≥99.99%;

完善的安全保护措施

     漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置(上限220℃)、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器、门面安全开关。

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