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HMDS镀膜机

HMDS镀膜机

简要描述:

HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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HMDS镀膜机

通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS镀膜机

1)设备外壳采用医用级不锈钢304不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、防双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。3)采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.4)智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性能极好,确保HMDS气体无外漏顾虑。6)整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。

HMDS镀膜机技术参数

1设备名称

HMDS镀膜机

2、设备型号

JS-HMDS90

3、设备主要技术参数                                                     

3.1 工作室尺寸

 450×450×450(mm) 可选其他数据

3.2  材质

 外箱采用304不锈钢,内箱采用316L医用级不锈钢

3.3 温度范围

 RT+10-250℃

3.4 温度分辨率

 0.1℃

3.5 温度控制精度

 ±0.3%

3.6 真空度

 ≤133pa(1torr)

3.7 洁净度

 class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

 AC 220V±10% / 50HZ       总功率约2.0KW    

3.9 控制仪表

 人机界面

3.10搁板层数

 2层

3.11 HMDS流量控制

 可控制HMDS流量

3.11真空泵

 油泵或干泵

3.12 保护装置

 漏电保护,过热保护

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