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HMDS镀膜机设备

HMDS镀膜机设备

简要描述:

HMDS镀膜机设备。整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。

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通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS镀膜机设备

1)设备外壳采用医用级不锈钢304不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、防双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。3)采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.4)智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性能极好,确保HMDS气体无外漏顾虑。通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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