HMDS蒸镀烤箱,可程式HMDS机台通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业
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silicon wafer HMDS烤箱,HMDS OVEN1、预处理性能更好 2、处理更加均匀 3、效率高 4、更加节省药液 5、更加环保和安全 6、低液报警装置 7、可自动吸取HMDS功能 8、可自动添加HMDS功能 9、HMDS药液泄漏报警功能 10、HMDS紧急疏散功能 11、数据记录打印功能
智能型HMDS烘箱,全自动HMDS预处理系统预处理性能更好,更加均匀;效率高,一次可以处理多达4盒的晶片;更加节省药液;低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能;,有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。
蓝宝石增粘烘箱, HMDS烘箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。