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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS预处理烘箱
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱保护装置:紧急停止,HMDS药液泄漏报&警提示,HMDS低液位报&警,超温保护,漏电保护,过热保护等

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HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱
HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱

HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱可快速、均匀、经济高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 对晶圆表面进行底漆处理,从而改善光刻胶的附着力。

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HMDS烘箱  图像反转系统 HMDS涂胶机
HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机

HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机使用HMDS(六甲基二硅氮烷)对晶圆表面进行快速、均匀、经济高效的涂布,以提高光刻胶的附着力。这些多功能系统还支持图像反转,形成具有与正光刻胶相同的分辨率和易用性的负图像。

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光刻胶HMDS烘箱  HMDS疏水处理烘箱
光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱

光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱应用多晶硅,石英,太阳能电池片、金属、贵金属、蓝宝石、SiC(碳化硅)、磷化铟、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。

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HMDS烘箱专用真空泵,HMDS系统无油泵
HMDS烘箱专用真空泵,HMDS系统无油泵

HMDS烘箱专用真空泵,HMDS系统无油泵较小的噪音 - 一台干泵却拥有较好的真空度,较大的抽速 - 停机时间短,维护成本更低

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HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂胶前对硅片表面进行处理,可以增加硅片表面水分子的接触角,使衬底表面从亲水性转化为疏水性

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