纳米陶瓷材料表面疏水HMDS处理系统生产工艺周期短，提高生产效率； 修饰液用量极少，节约成本90%； 闭环的工艺过程，安全系数高。

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻胶粘合的 HMDS 气相沉积 晶圆基底脱水烘烤

HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱在晶圆上行喷涂hmds预处理的工艺，将晶圆表面亲水性的置换为疏水性的，使晶圆表面接触角达到65或更高。

HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱为半导体应用的光刻胶粘合促进剂工艺设备，

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性，增强表面的黏附性（HMDS-六甲基二硅胺烷）。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱保护装置：紧急停止，HMDS药液泄漏报&警提示，HMDS低液位报&警，超温保护，漏电保护，过热保护等

HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱可快速、均匀、经济高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 对晶圆表面进行底漆处理，从而改善光刻胶的附着力。