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光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱
光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱

光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱就是涂胶前要进行增粘处理。由于衬底表面吸水特性,使疏水的光刻胶无法与亲水的晶圆表面结合良好。未经过HMDS表面处理的晶圆在后道工艺中容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

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HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱
HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱

HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱适用行业:MEMS、太阳能、电池片、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。

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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵真空干泵具有静音(50dBA)和低振动运行的, 密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。

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HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统 工业烘箱
HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统 工业烘箱

HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统适用行业:MEMS、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。

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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工业烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工业烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改变晶圆表面的亲水性,从而增大晶圆表面的接触角),增强光刻胶和晶圆的粘附力。

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HMDS增粘剂烘箱,HMDS涂胶机 工业烘箱
HMDS增粘剂烘箱,HMDS涂胶机 工业烘箱

HMDS增粘剂烘箱,HMDS涂胶机即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布,涂胶工艺的配置机台。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱 工业烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC衬底HMDS烤箱将HMDS气相沉积至半导体制造中氮化镓(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化镓等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用

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