产品展示您的位置:网站首页 > 产品展示 > HMDS烘箱 > HMDS预处理系统
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备的作用是匀胶前衬底“增附”处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后续的光刻显影环节出现“裂纹”甚至是漂胶等问题。因此必须通过工艺手段改善,这个步骤我们叫做增附处理或者叫做助黏。

查看详情
HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )-真空烘箱
HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在箱内先经过100℃-200℃的去水烘烤,再进行HMDS处理,不需要从箱内传出,而接触到空气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有更好的处理效果。

查看详情
智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)

智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

查看详情
智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵
智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵

智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵密封设计(电机和所有轴承与真空环路*隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中, 可根据需要使用,不会额外增加泵的高度。

查看详情
HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置
HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置

HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,增加了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

查看详情
HMDS预处理系统报价
HMDS预处理系统报价

HMDS预处理系统报价它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

查看详情
HMDS预处理系统 真空烘箱
HMDS预处理系统 真空烘箱

HMDS预处理系统降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

查看详情
共 7 条记录,当前 1 / 1 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 
COPYRIGHT @ 2016 网站地图    沪ICP备16022591号-1   

上海隽思实验仪器有限公司主要经营优质的HMDS预处理系统生产厂家等,欢迎来电咨询HMDS预处理系统定做价格等相关信息
地址:上海奉贤柘林工业区3213号