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详细盘点HMDS镀膜机的使用注意事项

发布时间:2022-01-20   点击次数:167次
 
  HMDS镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
 
  HMDS镀膜机的使用注意事项:
 
  1、定期清洁真空室并尽量抹干,每次都彻底洗干净,以免造成越来越难洗的现象。烘干后再镀膜,头一炉应比原来延长四倍时间才镀膜。
 
  2、定期更换扩散泵油,更换真空泵及罗茨泵油。更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1X102Pa,扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后,方可进行加热或充大气进行拆卸,否则会产生伤害人的严重后果。
 
  3、平时整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长期暴露在大气中。
 
  4、经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂。
 
  5、定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元器件。
 
  6、在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门。
 
  7、停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换。
 
  8、对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和较长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体,以免冻裂冷却水管(套)和泵体。
 
  9、精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降低抽气能力,缩短泵油的使用寿命。
 
  10、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的油雾会污染被镀的工件,严重影响膜层的质量。
 
  11、在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却水管沉积一层水垢,影响冷却效果。

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