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无氧化烤箱，高温无氧固化炉利用充氮气提供无氧化烘烤空间， 确保产品不氧化。适用于IC封装、晶圆烘烤、PI固化、BCB胶固化、ITO模具退火、镀膜制程等半导体行业，电子行业及各种产业应用。
产品型号：厂商性质：生产厂家更新时间：2025-09-16访 问 量：3938
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无氧化烤箱概述：
利用充氮气提供无氧化烘烤空间， 确保产品不氧化。适用于IC封装、晶圆烘烤、PI固化、BCB胶固化、ITO模具退火、镀膜制程等半导体行业，电子行业及各种产业应用。
无氧化烤箱结构：
1.箱体结构：
内箱采用SUS304镜面不锈钢制作，以全周氩弧焊无缝处理；
外箱采用SUS304不锈钢或优质冷轧板静电喷塑处理；
外箱保温材质採用高级超细保温棉，六面保温断热，机台表面温度低。
2.气体系统：
马达轴心以特殊轴封密闭，气密性佳，含氧量可低至50PPM以上；
箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量；
排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量。
3.热风循环系统：
特殊节约能源高效率送风结构；
采用不锈钢覆套式无尘无氧化电热发生器；
箱体后部装有离心循环风机、氮气进气口和排气口，离心风机将箱内加热的热风与进气口的新鲜氮气混合，一部分气体混合烘干处理产生的废气物从排气口排出，大部分气体进入箱体两侧的循环风道，携带加热器产生的热量，进入箱体内对产品进行加热烘烤，然后由离心风机重新吸回，从而往返循环。
4.降温系统：
风冷或水冷却循环系统。
5.温控系统：
采用高精度温度控制器，内置斜率设定、PID自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多种功能。
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