半导体工艺洁净烘箱，百级无尘烘箱

半导体工艺洁净烘箱，百级无尘烘箱性能介绍：

1. 洁净烘箱是一种用于对于生产过程中用于产品对洁净度高要求的加热烘烤设备。本产品具有安全性好，洁净度高,节能效果优，保温性佳，温度均匀性好。大多应用于烘烤光学、光电、光纤,精密电子及医药器材等欲烘烤物品的烘干或温升处理等。广泛用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、光学、航天及军工科研实验室等生产及科研部门中净化干燥的要求。具有*设计的强鼓风循环系统确保了温度的稳定性，高效循环过滤系统确保箱内的洁净度,控温装置采用 PID 数显控温(可选触摸屏等)，直观醒目，设有可靠性保护装置。

2.循环方式及工作原理：本设备是一种高功能、高信赖度烤箱，结构、材质、强度、保温、风路循环等皆设计精良，且外形美观、操作方便。热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，当门开、关动作引起扰动时，可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值,使温度更均匀。

  半导体工艺洁净烘箱，百级洁净烘箱电气原理：主控表进行全过程控温，按原先设定好的程序来控制工作室内温度，如果温度控制系统出故障，使得工作室温度持续升高，当工作室温度上升至二级机械保护设定值时，保护系统立即动作，切断加热电源，并发出报警信号。

半导体工艺洁净烘箱，百级无尘烘箱技术参数：      

1． 内部尺寸：450*350*350（mm）

2． 无尘等级：100级

3.  温度范围：RT＋10℃～200℃。

4． 温度波动：<±0.5℃。

5． 温度均匀：±1.5%（空载测试）。

  依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。

6．温控装置：高精度P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。