HMDS预处理系统产生的HMDS尾气处理设备，HMDS废气净化系统将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。从而产生的尾气需要净化处理后才可排放在大气中。

氮气烤箱，充氮洁净烤箱用于IC封装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板、高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

非标无尘无氧烘箱，无氧干燥箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

非标充氮洁净烘箱，充氮烤箱定做是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。

高温充氮洁净烘箱，无尘充氮烤箱是一种耐高温，可以达到和工作场所同样的洁净等级烘箱。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class100；

硅片充氮烘箱，半导体充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内持续充氮，使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。