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HMDS烘箱、HMDS预处理系统
HMDS烘箱、HMDS预处理系统

HMDS烘箱、HMDS预处理系统降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

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12寸HMDS真空烤箱,芯片HMDS烘箱
12寸HMDS真空烤箱,芯片HMDS烘箱

12寸HMDS真空烤箱,芯片HMDS烘箱过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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光刻胶无尘烘箱,电子陶瓷固化烤箱
光刻胶无尘烘箱,电子陶瓷固化烤箱

光刻胶无尘烘箱,电子陶瓷固化烤箱主要应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料等无尘烘干的特殊工艺要求。

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