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无氧化恒温热板,氮气保护加热台
无氧化恒温热板,氮气保护加热台

无氧化恒温热板,氮气保护加热台用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、硅片高温退火,电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,形成高温、低氧(无氧),特别适合半导体制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、医疗卫生、柔性穿戴技术研发、精密模具退火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。

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智能型无尘无氧烘箱、厌氧洁净烘箱
智能型无尘无氧烘箱、厌氧洁净烘箱

智能型无尘无氧烘箱、厌氧洁净烘箱应用于精密电子元件、PI、BCB 胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、无尘烘干的特殊工艺要求

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晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱
晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱

晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱晶圆退火需进行升温处理,升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护,该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。

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无氧烘箱,智能无氧双层烘箱
无氧烘箱,智能无氧双层烘箱

无氧烘箱,智能无氧双层烘箱可选用条形码上传IT后,接收由IT比对下载制程数据或直接接收IT所下载制程数据方式,系统并自动将制程写入温控器,达到远程制程下载,避免人员制程选择操作错误问题;

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充氮烘箱,充氮洁净烘箱
充氮烘箱,充氮洁净烘箱

充氮烘箱,充氮洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。

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无氧烘箱,无氧化烘箱
无氧烘箱,无氧化烘箱

无氧烘箱,无氧化烘箱在半导体集成电路制造过程中,晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响

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PI固化厌氧烘箱,聚酰亚胺固化炉
PI固化厌氧烘箱,聚酰亚胺固化炉

PI固化厌氧烘箱,聚酰亚胺固化炉多次实验后采用阶梯升温过程,亚胺化效果*。采用程控烘箱进行亚胺化,烘箱内为纯N2氛围.

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