无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱应用半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纤维热处理。

双腔无氧烤箱，两箱无氧烘箱单腔内尺寸：W450×D450×H450，上下层两个腔体，可定制其他尺寸，多腔体

铌酸锂无氧化烘箱用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于聚酰亚胺PI胶、CPI胶、BCB胶固化、低K电介质固化，LCP材料热处理、键合材料预处理，FOWLP扇出封装，ITO膜/铝/铜退火，PBO胶固化等特殊工艺。

PI无氧烘箱工艺流程用于半导体/电子/新材料/新能源等行业。BCB、PI、PBO胶固化，LCP新材料、锂电池等产品热处理。

精密干燥箱，高精度烘箱用于半导体，电子，实验室，金属，橡胶等行业。烘干，固化，老化等工艺。可延伸为真空烘箱，无氧烘箱，洁净烘箱，HMDS烘箱等。

PI烘箱，厌氧烘箱固相亚胺化常用于PI薄膜的制备即将PAA溶液浇铸成膜后加热进行亚胺化溶液亚胺化是在PAA溶液中加入共沸溶剂加热回流通过共沸溶剂的蒸出带出反应过程中产生的水促进反应进一步进行。

智能型无尘无氧烘箱，高温无尘 无氧化烘箱又称为PI固化烘箱，厌氧烘箱，高温无氧烘箱，用于PI、BCB胶高温固化、LCP热处理烘烤、光刻胶固化等电子，半导体、新材料行业。