坚膜烘箱，氮气坚膜烤箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷(如针孑L)因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。

无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱应用半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纤维热处理。

双腔无氧烤箱，两箱无氧烘箱单腔内尺寸：W450×D450×H450，上下层两个腔体，可定制其他尺寸，多腔体

铌酸锂无氧化烘箱用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于聚酰亚胺PI胶、CPI胶、BCB胶固化、低K电介质固化，LCP材料热处理、键合材料预处理，FOWLP扇出封装，ITO膜/铝/铜退火，PBO胶固化等特殊工艺。

PI固化高温烘箱，聚酰亚胺厌氧烤箱用于半导体/三代半导体/新材料/新能源等行业。BCB、PI、CPI、PBO胶固化，LCP新材料、锂电池等产品热处理

PI亚胺化厌氧炉，PI真空厌氧烤箱用于光刻胶BCB，聚酰亚胺CPI固化，LCP纤维热处理、晶圆干燥烘烤等工艺

PI真空固化烤箱，水冷却PI固化炉用于光刻胶BCB，聚酰亚胺PI固化，晶圆干燥烘烤等工艺