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硅片清洗设备，硅片全自动清洗机应用于集成电路，MEMS器件，微波器件，先进封装等工艺。去胶清洗设备，显影清洗设备，酸碱刻蚀机。也可用于零部件清洗，石英管道清洗，外延片清洗（砷化镓，氮化镓，碳化硅，铌酸锂等
刻蚀机，半导体刻蚀台用于半导体芯片、衬底片的清洗及湿法腐蚀、去胶、去蜡、剥离等工艺的设备。
