坚膜烘箱 百级洁净烘箱 氮气无尘烘箱是通过加温烘烤使胶膜更加牢固的粘附在晶圆表面，并可以增加胶层的抗刻蚀能力的一道光刻胶工艺。

后曝光氮气烘箱，PEB无尘烘箱所使用的高温（100-130°C）会使光敏化合物扩散，从而消除驻波波纹.百级洁净度无尘化，专用于半导体，集成电路。

智能型无尘无氧烘箱(PI固化厌氧烤箱)箱体内装有氧含量分析仪，全程检测氧含量值，并记录。

三箱式百级无尘烤箱，电子百级洁净烘箱耐高温超洁净H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100

高温百级无氧烘箱，500度厌氧洁净烤箱用于PI、BCB 胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、无尘烘干的特殊工艺要求。

不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱应用于目前关键的半导体电子行业（如硅片干燥，坚膜烘烤，装片机后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。

百级无尘烘箱，不锈钢无尘烤箱用于IC生产中前烘、后烘烤、坚膜、装片机后端烘烤、塑封封装烘烤、光刻胶固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工艺。