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无尘烘箱,无尘固化烤箱
无尘烘箱,无尘固化烤箱

无尘烘箱,无尘固化烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

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SECS/GEM协议无尘烘箱,无尘烤箱
SECS/GEM协议无尘烘箱,无尘烤箱

SECS/GEM协议无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。设备可以使用TCP/IP(使用HSMS标准,SEMIE37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。

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无尘烘箱,晶圆无尘烤箱
无尘烘箱,晶圆无尘烤箱

无尘烘箱,晶圆无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;

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无尘烘箱
无尘烘箱

无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、LED、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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