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IC氮气烤箱,光刻间用烤箱

IC氮气烤箱,光刻间用烤箱

简要描述:

IC氮气烤箱,光刻间用烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱箱主要用于:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

IC氮气烤箱,光刻间用烤箱简介:

   IC氮气烤箱,光刻间用烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱箱主要用于:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

技术参数:

内桶:采用SUS304#镜面不锈钢板,经碱性苏打水清洁,避免烘烤时产生灰尘;
中桶:采用SUS304#镜面不锈钢板,经碱性苏打水清洁,全氩弧焊焊接密封,避免烘烤时自身污染;
外部材料:采用SUS304拉丝不锈钢板制造;
保温材料:采用国产优质超细玻璃棉,100K级高密度高保温材料制造,六面保温;
洁净度:100级、10级、1000级

氮气进气口:加装流量计控制进气量,入气口:6mm;
排气口:自动启动风门,达到强烈循环效果而降温的目的

电源:AC220V/380V 50Hz 
温度均匀度:≤±2.0℃;

温度范围:RT+20~300℃,
氧含量:≤500ppm;

内尺寸:W710mm ×D 610mm ×H 560mm(可做上下两箱);

传感器:采用日制进口感温芯片,不锈钢外套,输出被控制元件:SSR固态继电器输出;
温度控制器:采用多段温度控制器,数字设定,LED显示,PID自动演算,SSR固态继电器输出;
温度控制器显示精度: 0.1;
保护装置:

超温防止警报装置;
电热、马达过电流保护;
控制回路短路及过载保护;
漏电断路器;
逆向防止器;
机台异常风鸣器;

采用电磁门锁,附断电防开门装置;
三色指示灯:黄色待机,绿色运转,红色超温指示;
配合烘烤流程,控制氮气及空气之启闭,避免氮气浪费;

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