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硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱

简要描述:

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱​是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构。工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断路及超温报警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。

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硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱​是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。烘箱工作室为光亮型全不锈钢结构。工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断路及超温报警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可满足电子电器、医药、实验室等生产及科研部门中净化干燥。特殊要求温度可达350℃-400℃并且可加装氮气进出口。

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱用途

洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

技术参数

Ø  内箱分层:根据箱体内部大小而定

Ø  温度范围:RT+10℃~250℃。

Ø  温度波动:<±1℃。

Ø  温度均匀:±2%(空载测试)。

Ø  温控装置:高精度P.I.D智能温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

Ø  温控输出:SSR输出,品牌继电器,固态继电器。                   

Ø  测温装置:PT100 铂 电阻温度传感装置,测温精确。

Ø  内室材料:采用无磁性不锈钢;外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) 。

Ø  保温材料:玻璃纤维。

Ø  保护装置:超温保护器,无熔丝开关。

Ø  流 量 计:氮气专用转子流量计

 

晶圆充氮洁净烘箱

一. 概述

充氮洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

二.特点

1、全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
2、耐高温,可以达到和工作场所同样的洁净等级;

三.技术参数

1、主要技术指标

Ø  温度范围: RT(室温)+10~200℃;

Ø  温度偏差:≤±2.0℃;

Ø  升温速度:≥2℃/min;

Ø  洁净等级:千级以上

Ø  计时功能:具有独立的计时器,计时开关,计时报警器

 

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