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硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱 工业烘箱

硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱 工业烘箱

简要描述:

硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱,半导体充氮烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

特点

1、全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
2、耐高温,可以达到和工作场所同样的洁净等级;

技术参数

1、主要技术指标

Ø  温度范围: RT(室温)+10~200℃;

Ø  温度偏差:≤±2.0℃;

Ø  升温速度:≥2℃/min;

Ø  洁净等级:千级以上

Ø  计时功能:具有独立的计时器,计时开关,计时报警器

2、箱体结构

Ø  箱体材料:外箱采用优质冷轧板烤漆;

Ø  内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢;

Ø  保温材料:超细玻璃棉;

Ø  排 气 口:ф50;

Ø   隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG;

Ø  空气循环装置:大容量轴流电机;

Ø  加热方式:不锈钢电加热器;

3、温控系统

Ø  温度测量传感器:Pt100 铂电阻;

Ø  控制仪表:日本富士温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;

Ø  超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;

Ø  控制系统:主要电器件均采用施耐德、欧姆龙等进口元气件

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