无尘class100烘箱，MES接口无尘烘箱用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

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更新时间：2025-09-16
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无尘class100烘箱，MES接口无尘烘箱技术参数：

用途	用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺
温度范围	室温＋10℃～250℃
温度波动度	恒温温度波动±0.5℃
温度均匀度	≤±2℃
工作室尺寸（mm）	450（深）450（宽）600（高）（可自定）
洁净度	Class100
气体过滤	配有气体过滤装置，保证腔体内洁净度为100级
隔板要求	每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成
箱体外壁材料	冷轧钢板静电喷塑（或SUS304）
箱体内壁材料	为不锈钢板内壁氩弧焊（SUS316或SUS304）
保温材料	优质超细纳米玻璃棉
氮气接口	能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行
控制方式	人机界面+PLC控制
氮气流量	0.3~0.5M3/H(可选择具有流量偏低/偏高报警功能,并实时监控记录曲线）
超温保护	采用独立的超温保护装置，确保温度不超限；当保护装置动作时，超温保护装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调
计时方式	温度达到制程设定值后开始计时.
排风口	直径114mm的排风口,且安装有调节风阀
电气安全保护	风机过载保护、加热系统超温保护、电磁门锁保护、安全接地保护.
MES软件	可连接MES系统
	作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确
	自动记录作业累计次数，作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表
	有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员

无尘class100烘箱，MES接口无尘烘箱用途：

无尘烘箱用于IC生产过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤（软烘），脱水烘烤，涂胶后的坚膜烘烤（硬烘）；也适用于电子液晶显示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等生产及科研部门。

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无尘class100烘箱，MES接口无尘烘箱用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

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