24小时销售热线

18016281599

产品中心

我的位置:首页  >  产品中心  >  HMDS烘箱  >  HMDS预处理烘箱  >  HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱
HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱为半导体应用的光刻胶粘合促进剂工艺设备,

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-17
  • 访  问  量:1291
立即咨询

联系电话:021-31434441

产品详情

HMDS预处理机H-2  智能HMDS真空烘箱

HMDS(六甲基二硅氮烷)为半导体应用的光刻胶粘合促进剂。

     HMDS烘箱将六甲基二硅胺烷HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、磷化铟lnP、砷化镓GaAs、铌酸锂LiNbO₃、硫化锌ZnS、掩膜版玻璃、石英片、蓝宝石、晶圆、碳化硅等第三代、第四代半导体材料表面后经系统加温,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

HMDS预处理机H-2  智能HMDS真空烘箱技术性能

处理产品:2-12寸晶圆及方片均可兼容(可定制)

材质:内箱采用 316L 级不锈钢

温度范围:80-200℃

真空度:≤1torr

工艺数量:5个工艺设定并保存

操作界面:智能型彩色人机界面,一键完成工艺

真空泵:无油涡旋真空泵(或旋片油泵)


HMDS预处理机烘箱其他功能


HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

脱水烘烤

温度保护程序锁定保护

图形反转功能

HMDS药液泄漏报警提示功能


在线咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
  • 电话:TEL

    021-31434441

  • 邮箱:EMAIL

    junsish@163.com

  • 传真:FAX

    86-021-60649603

版权所有© 2025 上海隽思实验仪器有限公司 All Rights Reserved     备案号:沪ICP备16022591号-1

技术支持:环保在线     管理登录     sitemap.xml

TEL:021-31434441

扫码添加微信