硅烷沉积设备 抗粘剂蒸镀系统 纳米抗粘设备

硅烷沉积设备 抗粘剂蒸镀系统 纳米抗粘设备背景

  纳米压印技术的生产采用物理接触的方式进行图形转移，这种方法能达到很高的分辨率，最小分辨率小于5纳米。子版可以反复使用，大大降低了生产成本，也有效提高了生产效率。纳米压印技术作为很有希望的下一代光刻技术,具有成本低,重复性好,可控性强等一系列优点,逐渐被应用于微细加工的各个领域。 由于压印是在微结构上完成的,因此摩擦力以及随之而产生的脱模成为影响压印质量的一个关键问题。

脱模

采用辛基三氯硅烷对纳米压印技术中所用模板进行表面修饰，用气相法在模板表面形成单分子膜的形成过程及化学机理,通过表面修饰的模板,可以大大降低模板与压印聚合物层之间的相互作用力,在纳米压印过程中实现结构较好的转移,复制.

硅烷沉积设备 抗粘剂蒸镀系统 纳米抗粘设备核心组件

气路系统：N2、硅烷与其他反应气体输送。

反应腔室：耐高温、耐腐蚀材料制成，配备加热器。

真空系统：维持低气压环境，可达1Torr以下。

尾气处理装置：处理未反应的硅烷（因硅烷易燃易爆，需通过燃烧或吸附中和）。

控制系统：人机界面，监控温度、压力、气体流量等参数。

温控系统：RT-200℃高精度日制温控器+RSS回路，防超温保护装置

安全系统：集成自动硅烷加注系统和微电脑控温模块，实现真空抽排、氮气置换、温度控制的全流程自动化‌。一键式操作界面支持多组程序存储，满足2英寸至12英寸晶圆的差异化处理需求‌。

抗粘剂蒸镀系统应用领域

半导体制造：沉积介电层（如SiO₂、SiNₓ）、钝化层或隔离层。

光伏产业：制备非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池的吸收层或钝化层。

显示技术：用于TFT-LCD或OLED显示屏中薄膜晶体管（TFT）的绝缘层或钝化膜。

MEMS器件：构建微机电系统的结构层或保护层

纳米压印：脱模剂硅烷沉积

生物芯片：硅烷增粘剂沉积

新材料：纳米陶瓷材料、多孔碳复合材料表面修饰

光学玻璃：硅烷增粘剂沉积

   半导体设备厂商上海隽思仪器，硅烷气相沉积设备包含增粘剂硅烷(HMDS等）、抗黏剂硅烷沉积、脱模剂硅烷（PFTS）沉积、表面改性修饰硅烷处理等，精密热板、HMDS预处理系统烘箱、智能型HMDS真空预处理系统烘箱、MSD超低湿烘箱、无尘烘箱、洁净烘箱，氮气烘箱、无氧烘箱、无尘无氧烘箱、真空烘箱、真空储存柜、超低温试验箱、超低湿试验箱等环境可靠性设备。