大型HMDS真空烘箱，4门HMDS真空烤箱

HMDS真空烘箱是半导体光刻工艺中的关键设备，主要用于基片表面预处理，通过六甲基二硅氮烷（HMDS）涂布增强光刻胶与基片的黏附性。以下是其核心特点及应用信息：

一、主要用途

1. ‌表面改性‌：通过HMDS与基片表面反应，将亲水表面转化为疏水表面，提升光刻胶附着力‌
   。

2. ‌去水干燥‌：在100℃-200℃高温下抽真空去除基片表面水分，减少光刻胶涂布缺陷‌
   。

二、设备结构特点

1. ‌材质‌：采用不锈钢316L内胆，耐腐蚀且满足无尘净化环境要求‌。

2. ‌控制系统‌：

3. 微电脑智能控温，温度分辨率0.1℃，波动度±0.5℃‌
   ；

触摸屏编程控制，可自定义温度、真空度及时间参数‌
。

4. ‌密封性‌：硅橡胶门封圈设计，真空度可达133Pa‌
   。

三、大型HMDS真空烘箱，4门HMDS真空烤箱典型工作流程

1. ‌预热阶段‌：抽真空后充入氮气循环，加热至设定温度以去除基片水分‌
   ；

2. ‌HMDS处理‌：充入HMDS气体并保持反应时间，形成均匀涂层‌
   ；

3. ‌尾气处理‌：真空泵抽排残余气体至专用回收系统‌
   。

四、技术参数示例

• ‌温度范围‌：室温+10℃~250℃‌
  ；

• ‌容积规格‌：常见型号工作室尺寸450×450×450mm（90L）‌；

• ‌电源配置‌：AC220V±10%，功率2400W‌
  。

五、大型HMDS真空烘箱，4门HMDS真空烤箱操作规范

1. ‌安全操作‌：需在温度降至安全范围后再关闭真空泵，防止设备损伤‌
   ；

2. ‌维护要求‌：定期检查真空泵油位及密封件状态，确保运行稳定性‌
   。