智能型图形反转系统 充氮气图像翻转设备适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。
智能型图形反转系统 充氮气图像翻转设备用途：
光刻图形反转是一种特殊的工艺，用于制作半导体器件。在曝光结束后，光刻胶中的图像与想要得到的图像是相反的，即曝光区域在显影后会形成孔洞而不是岛区。这种工艺主要用于制作孔洞结构，通过改变曝光区域和非曝光区域的相对分解率来实现。
智能型图形反转系统适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。
智能型图形反转系统特点：
NH3监测,报警提示功能
工艺数据记录功能
程序锁定保护等功能
智能型图形反转系统 充氮气图像翻转设备技术性能：
1.尺寸（深*宽*高）
内腔尺寸：300×300×300
450×450×450（mm）（可定制）
2. 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用级不锈钢
3.温度范围：RT+50-200℃
4.温度分辨率：0.1℃
5.温度波动度：≤±0.5
6 真空度：≤133pa（1torr）
7.电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ，总功率约2.8KW
8.控制仪表：人机界面，一键运行
9.搁板层数：2 层
10.工艺气体：2/3路
11.真空泵：无油涡旋真空泵
智能型图形反转真空系统工艺标准
图形反转工艺的主要步骤为将涂胶的晶圆放置在智能型图形反转真空系统中,穿透光刻胶，改变其极性。将再进行泛光曝光，从而完成整个图形反转工艺。反转工艺的效果是改变曝光区域和非曝光区域的相对分解率，在接下来的显影步骤便可以实现图形反转了。这一工艺可以实现与非图形反转工艺同样的分辨率.
