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真空无氧烤箱,无氧化真空烘箱用于光刻胶BCB,聚酰亚胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纤维热处理,
前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱优化光刻胶的光学吸收特性,提高光刻胶对衬底的黏附性
外延片烘箱,氮气洁净烘箱延片将所述外延片放入烘箱中,在120℃~140℃的温度下,将所述外延片烘烤10~30分钟
墨点烘箱,墨点氮气烘箱是半导体行业,芯片加工工艺流程中打墨点工艺后,将硅片放入烘箱进行墨点烘干专用设备。
坚膜烘箱,氮气坚膜烤箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷(如针孑L)因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱应用半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。
双腔无氧烤箱,两箱无氧烘箱单腔内尺寸:W450×D450×H450,上下层两个腔体,可定制其他尺寸,多腔体