半导体烤箱,wafer烤箱于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料预处理烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
半导体烤箱,wafer烤箱用途:
半导体烤箱,wafer烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料预处理烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
特点:
1.烤箱具有升温快,温度过冲小,节能等优点;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用环抱式热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好;
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到精密温度控制精度。
产品技术参数:
温度范围:RT+10~250℃;
温度均匀度:±2℃;
温度波动度:±0.5℃
温控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W600×D550×H600(mm)
电源:220v , 50Hz,3.0KW
网板:2块(高度可调节)