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无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱 烘箱设备

无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱 烘箱设备

简要描述:

无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱无尘等级:Class 100、10;
温度范围:RT+10~300℃;用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤

无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱用途:

         无尘烘箱,不锈钢无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

技术参数:

1.主要技术指标:

  无尘等级:Class 100、10;     

 温度范围:RT+10~300℃;
 温度均匀度:±2℃;    

 温度波动度:±0.5℃(空载)        
 温控精度:±0.1℃;        

 工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   
 电源:380v , 50Hz,6KW    

 网板:2块(高度可调节)

特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,优良的温度控制精度

上海隽思仪 器制造热风循环烘箱,洁净烘箱,无尘烘箱,厌氧烘箱,高温无尘固化烤箱,PI胶固化烤箱,BCB胶固化烤箱,无尘无氧烤箱,HMDS预处理烘箱,真空涂胶烤箱,百级烘箱等设备。

 

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