洁净烤箱作为半导体、生物医药及精密制造领域关键的热处理设备，对温度精度、洁净度与运行稳定性要求高。一旦出现升温慢、温度不均、超温报警、颗粒超标或门封漏气等问题，轻则影响工艺一致性，重则导致整批产品报废。掌握
洁净烤箱的科学排障方法，是保障生产连续性与产品质量的核心。
问题一：升温速度慢或无法达到设定温度
原因：加热管老化、循环风机故障、电压不足或腔体密封不良。
对策：
检查加热管是否发红均匀，若局部不热需更换；
听风机运转声是否正常，风量不足则清理风道或更换电机；
测量输入电压是否稳定（AC220V±5%）；
检查门封是否变形、开裂，必要时更换硅胶密封条。
问题二：温度波动大或均匀性差（＞±2℃）
原因：传感器漂移、风道堵塞、搁板摆放不当或PID参数失配。
对策：
使用标准温度计校验PT100探头，偏差超±0.5℃需校准或更换；
清理风机入口及风道积尘，确保气流循环畅通；
搁板勿紧贴侧壁或顶部，留出≥5cm气流通道；
联系厂家工程师优化PID控制参数，适应不同负载工况。
问题三：超温报警频繁触发
原因：主控传感器故障、超温保护探头位置偏移或继电器粘连。
对策：
检查超温保护探头是否紧贴内胆壁，未被物料遮挡；
断电后测量固态继电器输出端是否短路（正常应断开）；
若主控与保护双传感器读数差异大，优先更换主控探头；
切勿短接超温保护回路！此为安全底线。
问题四：洁净度下降（颗粒数超标）
原因：高效过滤器堵塞/破损、正压不足或清洁不到位。
对策：
用尘埃粒子计数器检测送风洁净度，若ISO等级下降，立即更换HEPA/ULPA滤芯；
检查风机转速是否正常，确保箱内维持+10～+50Pa正压；
清洁内胆、搁板及死角，避免残留物挥发成颗粒源；
更换滤芯后必须进行PAO检漏测试，验证密封性。
更新时间：2025-11-24 
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