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SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱

简要描述:

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验

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SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱概述

SECS/GEM通讯无尘烘箱,无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点

Ø  在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

Ø  全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;

Ø  强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到高精度温度控制精度。

技术参数

主要技术指标

Ø  无尘等级:Class 100;     

Ø  温度均匀度:±2℃;    

Ø  温度波动度:±0.5℃(空载);        

Ø  温控精度:±0.1℃;

Ø  进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);       

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