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晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱

晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱

简要描述:

晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱一种采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100的洁净烘箱

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晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱概述

晶圆百级洁净烤箱,可编程洁净烘箱一种采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100的洁净烘箱

特点

Ø  在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

Ø  全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;

Ø  强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到预定温度控制精度。

配件

Ø  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

a)   一目了然、直观的显示 

b)   搭载了新的控制算法「RSS(升降温恒温稳定)」 

c)   程序程式输出功能(最多3点) 

d)   大容量 最多1024段程序 

e)   双模式信号输出 

f)   对应各种状况(程式终止状态、等待判断等) 

g)   综合管理大量的设定值,存储组功能 

h)   程序联合运行功能(控制器间的通信) 

i)   前面板接口专用通信+程序设定工具 

Ø  耐高温高效空气过滤器(HEPA)

a)   特点:效率高、阻力低、容尘量大;

b)   外框材质:不锈钢;

c)   材料:超细玻璃纤维滤纸;

d)   隔板:铝箔;

e)   过滤效率:≥99.99%;

f)   显示直观,操作简单

 

 

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