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智能型HMDS蒸镀机台

智能型HMDS蒸镀机台

简要描述:

智能型HMDS蒸镀机台是一种 具有预处理性能更好,处理更加均匀,效率高,更加节省药液特性的智能型烘箱。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

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智能型HMDS蒸镀机台概述

智能型HMDS蒸镀机台通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

特点

Ø  预处理性能更好:由于是在经过数次的氮气置换后进行的HMDS处理,所以不会在有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。

Ø  处理更加均匀:由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

Ø  效率高:液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达8盒(4寸)的晶片。

Ø  更加节省药液:实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。

系统结构

Ø  加热系统:由于工艺的整个过程都需要在200℃左右的环境下进行,所以自始至终加热系统都在工作。本系统采用在腔内分布两块独立的热板来实现加热,每个热板都采用人工智能PID调节仪实现闭环控制,调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的精确稳定控制,测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。

Ø  真空系统:由真空泵、真空组件、真空测量等组成,主要作用是置换气体和抽走剩余HMDS蒸汽。

Ø  充氮系统:作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛。主要由氮气源、控制阀和喷头组成。

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