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高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱

简要描述:

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

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高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱概述

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱技术指标

Ø  洁净度:class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

Ø  升温时间:5-8℃/min,(空箱测试)

Ø  降温时间:可满足130℃-50℃,降温5℃/min(空箱测试)

Ø  氧含量

(配氧含量分析仪)高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量

Ø  数据输出:温度和氧含量无纸记录仪

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱安全保护性能

Ø  报警功能 1)三色灯  2) 超温报警    3)热电偶故障报警   4)低水压报警

Ø  安保功能:1)短路保护

2)漏电保护

3)超温保护,独立感温式超温保护器

4)电机保护,电机过电流、水冷保护

5)电磁门禁保护,当温度超过100℃,电子锁自动锁紧,防止高温开门

高温无尘无氧烘箱,晶圆无氧烤箱设备环境安装条件

Ø  环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;

Ø  周围无强烈震动;   

Ø  无阳光直接照射或其它热源直接辐射,

Ø  周围无强烈电磁场影响;

Ø  周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;

Ø  百级洁净车间;

Ø  周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;

Ø  设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;

Ø  安装设备使用空开电源 ;

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