HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机的主要作用是对晶圆做表面处理，以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时，表面可能有含水层，高温烘烤后去除水气，同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性，将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度，从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。

HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机简介：

     HMDS涂胶烤箱的主要作用是对晶圆做表面处理，以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时，表面可能有含水层，高温烘烤后去除水气，同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性，将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度，从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。

      首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(*基硅烷基较大)阻止其进一步反应。

HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机特点：

1.HMDS是气相涂布在硅片表面，也就是硅片在高温环境HMDS的蒸汽中放置；

2.在显影过程中无需去除硅片表面的HMDS层；

3.在HMDS上面滴光刻胶甩涂时，光刻胶内的溶剂不会破坏HMDS层；

4.多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到废气收集管道；

5.所有制程都在密闭的腔体内完成，操做是不会接触到HMDS蒸汽；

6.可保存多个产品制程，制程工艺一键完成，无需值守人员。

HMDS涂胶烤箱技术指标：

1.设备型号：    JS-HMDS90                                                          
2.工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸：  根据内腔尺寸变化
4. 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢，内箱采用316L医用级不锈钢
5. 温度范围 ：RT+10-250℃
6. 温度分辨率 ：0.1℃
7. 温度波动度： ≤±0.5
8. 真空度： ≤133pa（1torr）
9. 洁净度 ：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
10.电源及总功率  ：  AC 220V±10% / 50HZ       总功率约3.0KW    
11. 重量： 约180KG
12. 控制仪表 ：人机界面
13.搁板层数 ：2层
14. HMDS控制 ：可控制HMDS药夜添加量
15.真空泵：旋片式油泵或干泵
16. 保护装置    HMDS药液泄漏报警装置，HMDS自动添加，超温保护，漏电保护，过热保护等