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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的?

更新时间:2023-11-10   点击次数:307次

HMDS烘箱是将晶圆表面暴露于蒸汽态的HMDS的方式气相涂胶。气相HMDS主要是用来增黏的作用。

HMDS中文名六甲基二硅氮烷,是一种有机物,在水中的溶解性很低,但它可与多种有机溶剂混溶,比如醇、醚和多数非极性溶剂。溶剂清洗:可以使用有机溶剂溶剂(如异丙醇)来清洗晶圆,以去除多余的HMDS。

HMDS烘箱的作用

HMDS烘箱也称为HMDS预处理系统,HMDS蒸镀机等,是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度,在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合,使这样的衬底表面具有疏水性。

HMDS烘箱性能

温度范围:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制仪表:彩色触摸屏控制,操作更加简单,方便

HMDS工艺:蒸汽气相涂布

安全检测:超温保护,HMDS泄漏检测提示

储液瓶:HMDS储液瓶 

真空泵:无油涡旋真空泵

工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制

 

 

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