HMDS烘箱是将晶圆表面暴露于蒸汽态的HMDS的方式气相涂胶。气相HMDS主要是用来增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一种有机物，在水中的溶解性很低，但它可与多种有机溶剂混溶，比如醇、醚和多数非极性溶剂。溶剂清洗：可以使用有机溶剂溶剂（如异丙醇）来清洗晶圆，以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也称为HMDS预处理系统，HMDS蒸镀机等，是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度，在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合，使这样的衬底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
温度范围：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制仪表：彩色触摸屏控制，操作更加简单，方便
HMDS工艺：蒸汽气相涂布
安全检测：超温保护，HMDS泄漏检测提示
储液瓶：HMDS储液瓶
真空泵：无油涡旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
