工业烘箱，工业无尘烘箱

工业无尘烘箱用途:

用于半导体制造中预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤、IC封装、治具烘烤、光刻胶固化等；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

工业烘箱，工业无尘烘箱特点：
1.烘箱内部等级达到Class 100、Class 1000；
2.全周氩焊，防机台本身所产生微尘；
3.采用水平或垂直送风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到z佳温度控制精度。

工业烘箱，工业无尘烘箱技术参数：

1.主要技术指标：
内箱材质：优质304不锈钢；

外箱材质：冷轧板喷塑或不锈钢；

无尘等级：Class 100、1000    

温度范围：RT+10～250℃、300℃
温度均匀度：±2℃;    

温度波动度：±0.5℃（空载）；        
温控精度：±0.1℃;

进风口：φ6mmN2进气、流量计控制;  

氮气烘箱

氮气烘箱技术参数：      

1． 内部尺寸：800*800*1000（mm）

2． 内箱分层：三层

3.  温度范围：RT＋10℃～250℃。

4． 温度波动：<±1℃。

5． 温度均匀：±1%（空载测试）。

6．温控装置：高精度P.I.D智能温控仪表、P.I.D自动演算、时间定时。

7．内室材料：采用无磁性镜面不锈钢；外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) 。

8．保温材料：陶瓷纤维。

9．特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。

保护装置：超温保护器，无熔丝开关。

11. 进气/排气：
进气系统：数量1个，φ8mm

充气压力：0.01~0.02Mpa
流 量 计：氮气转子流量计
减 压 阀:进气端配有氮气减压阀，充气压力指针显示

排气系统：数量1个，φ50mm