技术文章您的位置:网站首页 >技术文章 > 氮气烘箱,百级洁净烘箱在光刻软烘烤工艺注意事项有哪些?

氮气烘箱,百级洁净烘箱在光刻软烘烤工艺注意事项有哪些?

更新时间:2023-10-07   点击次数:317次

光刻加工中涂布后,所得的抗蚀剂膜将包含20-40%重量的溶剂。后涂覆烘烤工艺,也称为软烘烤或预烘烤,涉及在旋涂之后通过除去该过量溶剂来干燥光致抗蚀剂。减少溶剂含量的主要原因是使抗蚀剂膜稳定。

    在室温下,光刻加工未烘烤的光致抗蚀剂膜将通过蒸发而损失溶剂,从而随时间改变膜的性能。通过烘烤抗蚀剂,去除了大部分溶剂,并且该膜在室温下变得稳定。从光致抗蚀剂膜上去除溶剂有四个主要效果:(1)减小膜的厚度;(2)曝光后烘烤并改变显影性能;(3)改善粘合性;(4)膜的粘性降低因此不易受到微粒污染的影响。

氮气烘箱,百级洁净烘箱用途:

    洁净烘箱,百级无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

氮气烘箱,百级洁净烘箱技术参数:

无尘等级:Class100;     

温度范围:RT~200/450℃;      

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)        

氮气烘箱,百级洁净烘箱可扩展功能:

氧浓度检测,无尘无氧烘箱

真空无氧烘箱

智能联网功能,MES等工业自动化软件

扫码枪,扫码溯源,一键读取

自动门控,上位机程控,机械手搬运产品



分享到:

返回列表返回顶部
COPYRIGHT @ 2016 网站地图    沪ICP备16022591号-1   

上海隽思实验仪器有限公司主营产品:无氧化烘箱,精密热风烘箱,晶元烘箱,百级氮气烤箱,无氧烤箱
地址:上海奉贤柘林工业区3213号

环保在线

推荐收藏该企业网站