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智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵

智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵

简要描述:

智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵密封设计(电机和所有轴承与真空环路完全隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中, 可根据需要使用,不会额外增加泵的高度。

智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵说明

    IDP-10 涡旋式干泵是一款紧凑、高性能的无油真空泵,易于维护。在世 界各地不同的频率和输入电压下,变频驱动电机均可提供均一的真空性能。

密封设计(电机和所有轴承与真空环路完全隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中, 可根据需要使用,不会额外增加泵的高度。

智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵技术性能

最高抽速                           全速条件下 170 L/min (10.2 m3/h)

 

介质

气体

极限压力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

最大入口压力

1.0 个大气压 (0 psig)

推荐的最大连续入口压力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

标称电压下最大出口压力

1.34 个大气压 (5 psig)

入口连接

NW25

排气口连接

NW16

气镇

0.25 英寸美国标准管内螺纹(提供 20 µm烧结插头)

SAE-2 5/16-24

根据 Pneurop 6602 处理水蒸气

最大 120 g/h

运行环境温度

5-40 °C 41-104 °F

储存温度

–20-60 °C (–4-140 °F)

马达额定功率

0.5 HP (350 W) 3ø 变频驱动

工作电压

100-127 200-240 VAC, 50/60 Hz

马达热保护

自动热保护

工作速度

63.33 Hz: 1900 rpm 45 Hz: 1350 rpm

冷却系统

风冷

重量

仅泵:  24.74 kg 54.5 ),运输重量:  28.1 kg 62 磅)

尺寸(高 ×  ×  (mm)

297 × 260 × 420

泄漏速度(密封排气口时)

< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)

噪音水平

53 +/- 2 dB (A)

入口处振动水平

7 mms-1 rms

计时器

提供一体式计时器

辐射与抗扰性

EN 61236-1:2013,属 A 类设备

安全性

通过 EN/IEC 61010 第 3 版认证


   HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。


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