智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵密封设计（电机和所有轴承与真空环路*隔开）延长了轴承的使用寿命， 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中， 可根据需要使用，不会额外增加泵的高度。
智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵说明
IDP-10 涡旋式干泵是一款紧凑、高性能的无油真空泵，易于维护。在世 界各地不同的频率和输入电压下，变频驱动电机均可提供均一的真空性能。
密封设计（电机和所有轴承与真空环路*隔开）延长了轴承的使用寿命， 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中， 可根据需要使用，不会额外增加泵的高度。
智能型HMDS系统真空泵，HMDS涂胶机干泵技术性能
最高抽速 全速条件下 170 L/min (10.2 m3/h)
介质 | 气体 |
极限压力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
最大入口压力 | 1.0 个大气压 (0 psig) |
推荐的最大连续入口压力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
标称电压下最大出口压力 | 1.34 个大气压 (5 psig) |
入口连接 | NW25 |
排气口连接 | NW16 |
气镇 | 0.25 英寸美国标准管内螺纹（提供 20 µm烧结插头） |
SAE-2 5/16-24 | |
根据 Pneurop 6602 处理水蒸气 | 最大 120 g/h |
运行环境温度 | 5-40 °C （41-104 °F） |
储存温度 | –20-60 °C (–4-140 °F) |
马达额定功率 | 0.5 HP (350 W)； 3ø 变频驱动 |
工作电压 | 100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz |
马达热保护 | 自动热保护 |
工作速度 | 63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm |
冷却系统 | 风冷 |
重量 | 仅泵： 24.74 kg （54.5 磅），运输重量： 28.1 kg （62 磅） |
尺寸（高 × 宽 × 长 (mm)） | 297 × 260 × 420 |
泄漏速度（密封排气口时） | < 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s) |
噪音水平 | 53 +/- 2 dB (A) |
入口处振动水平 | 7 mms-1 rms |
计时器 | 提供一体式计时器 |
辐射与抗扰性 | EN 61236-1:2013，属 A 类设备 |
安全性 | 通过 EN/IEC 61010 第 3 版认证 |
HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。
