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真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱)

真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱)

简要描述:

真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱)是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多级升温保温的方式,在规定的时间从室温升至第一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。

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真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱由真空泵、真空组件、真空测量等组成;数显真空控制器,显示腔内相对压强并可根据工艺要求控制压力值。

真空无氧烤箱是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多级升温保温的方式,在规定的时间从室温升至第一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。

温度范围: 120~ 400/500℃;
温度波动度:≤±1

升温速度:0-10℃/min;
降温方式:水冷降温

氮气控制:电磁阀+可调试流量计控制
氧含量检测:氧浓度检测仪,氧含量可达20ppm

工作腔尺寸(mm):

W350×H350×D350

W500×H500×D600

W600×H600×D600

可定制

真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱)温控系统:
操作界面:人机界面+PLC,可一键运行,多个工艺编辑;
温度测量:K型热偶;

控制仪表:高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,可程式触摸屏控制器可选择
超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;
控制系统:主要电器件均采用施耐德、正泰等品牌元气件;


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