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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵 工业烘箱

简要描述:

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵真空干泵具有静音(<50dBA)和低振动运行的,
密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵

真空干泵具有 静音<50dBA)和低振动运行的,

密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。

极限压力:1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口压力:1.0 个大气压(0 psig)

冷却 方式:风冷

泵净重: 34 q (75 bs);含包装: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x宽x长(mm)):364x 333x 485

泄漏速度(密封排气口时):< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵用途


HMDS烘箱的作用

    HMDS烘箱是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度,在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合,使这样的衬底表面具有疏水性。从而增强光刻与衬底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

温度范围:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制仪表:彩色触摸屏控制,操作更加简单,方便

HMDS工艺:蒸汽气相涂布

安全检测:超温保护,HMDS泄漏检测提示

储液瓶:HMDS储液瓶 

真空泵:无油涡旋真空泵

工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制



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