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介绍高温无氧化烤箱的原理及特点

更新时间:2023-09-21   点击次数:408次
  高温无氧化烤箱又称为无氧化烘烤箱或高温烘箱,是一种在烘焙过程中有效减少甚至消除氧化的关键设备。具有节能、精确的温度控制、有效的抗氧化保护和多功能性等特点。
 
  厌氧烤箱是用来在半导体芯片制造前段制程中旋涂工艺(即涂布工艺)时,进行无氧烘箱、洁净无氧烘箱处理的设备。旋涂工艺需要先将原材料溶解在溶剂中,然后将晶圆表面向上固定在真空吸盘上,滴下固定量的材料,再在旋涂机上高速旋转,从而在晶圆表面形成厚度均匀的薄膜。之后,使用厌氧烤箱在300~400℃条件下进行热处理,去除残留的溶剂并使薄膜变得稳定。
 
  一、特点
 
  高效节能:一般采用高效热管技术和先进的保温材料,使得热能得到利用,能源消耗低。
 
  温度控制精确:具备精准的温度控制系统,能够将温度精确控制在一定范围内,确保烘焙食品烘烤均匀。
 
  减少氧化:传统烤箱在烘焙过程中会使食品暴露在空气中,导致氧化。而高温无氧化烤箱通过特殊的密封设计和高效热风循环系统,有效减少甚至消除氧化。
 
  多功能:具备多种烘焙模式和功能,如上下独立控温、热风循环、发酵等,可以满足不同烘焙需求。
高温无氧化烤箱
 
  二、工作原理
 
  高温无氧化烤箱采用先进的热风循环技术,通过将热风在密封的烘烤室中循环,使得食品均匀受热,同时减少与氧气的接触。此外,一些烤箱还采用了氮气或惰性气体置换技术,进一步降低氧化速率。
 
  三、应用
 
  广泛应用于食品工业生产中,如面包、饼干、糕点等各类烘焙食品的烘焙。同时,由于其精准的温度控制和多功能性,也受到家庭烘焙爱好者的欢迎,成为制作糕点、面包等食品的重要工具。

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